贝克曼库尔特METONE3411便携式空气颗粒计数器METONE3411便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。METONE3411具有业界领先的ISO21501数据准确性和再现性,是业内最洁净的0.1um便携式空气颗粒计数器。
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基本描述:
便携式空气颗粒计数器|选择METONE3411的优势所在
-可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
-热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
-测试向导(TestWizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
-顺序采样系统
可用METONE3432型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台METONE3411型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
-灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作
-直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个U盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!
-符合ISO21501-4标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合ISO21501-4标准要求。
应用领域:
专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
-洁净室验证监测
-洁净室的分级
-ISO14644洁净室验证
-洁净室颗粒物监测
-生产过程的连续监测
-颗粒污染源的排除过程
-HEPA过滤器检漏,粒径大小包括0.1、0.15、0.2、0.3、0.5和1um
-过滤器扫描
-高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整
产品参数:
通道个数 6 粒径 0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,5.0μ
光源 氦氖激光器
重量 不含电池:15.9公斤,电池:0.66公斤
尺寸 33Wx55.9Dx22.9Hcm(宽x长x 高)
机箱材质 便于清洗的钝化不锈钢
流速 1.0CFM(28.3LPM)
零计数 ISO21501-4和JISB9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗,95%置信区间
符合损失 在50,000/ft3时,为5%,符合ISO 21501-4标准
泵的类型 可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵
计数效率 在0.1μm时为50%。根据ISO21501-4和JISB 9921,粒径大于0.15μm时为100%
运行温度 10至40°C;相对湿度为10至90%,无冷凝
显示 ?VGA彩色TFT触摸屏
打印机 高速热敏打印机
语言 英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
可以显示的最大数值 9,999,999displayed
延迟时间 15秒钟至23小时59分59秒
采样/停留时间 1秒钟至23小时59分59秒
计数警报 1~9,999,999个计数值
位置 编号:0至999;名称:文字描述,显示在打印输出资料上
数据存储 5,000个样品,在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO或 Overflow)
输出 USB客户端(版本为1.1)USB主机端(版本为 1.1)RS485配有TCP/IP通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出(可选)METONE2432 型顺序采样系统(警报和扫描探头)
锂电池,可充电、可热插拔 ModbusTCP,ModbusRTU,串行的FX
输入 空气速度探头,相对湿度/温度探头
自动CDA清洗 连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
电源 24VDC,配有100-240VAC,50/60Hz适配器
电池类型 智能锂电池,可充电,可热插拔
电池使用时间 最短3小时
电池的充电时间 电池的充电时间
包含电池数量 2组
空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:
-国际标准化组织(ISO)
-ISO14644洁净室及相关受控环境
-ISO21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
- 环境科学与技术研究所(IEST)
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