半导体湿制程微污染自动化监测QR code

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邑流微測

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广东 东莞市

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产品概述

多信道液体粒子检测系统

实时监控水质与处理槽状态、直观判读液体中微粒子数量变化,有效提升制程效率&良率。加上多点位整合大幅降低设备成本,绝对是微污染管控的最佳解决方案。


产品特色

  • 直接整合至营运中机台

  • 自动化多点位分析

  • 24小时监控微奈米粒子数量变化

  • 减少无效稼动,提升清洗制程效率

  • 每年最高可节省72%成本

  • 显影剂、混酸去光阻液、铜/铝酸、DIwater检测效果佳


  • 产品优势

  • 缺陷预判

  • 自动示警,微奈米粒子出现微污染状况,洁净程度达警示标准,可提前更换滤芯,预防产品出现状况。

  • 优化建议

  • 智慧化交叉比对滤芯尺寸、寿命、保养周期,评估制程洁净度。并提供优化建议。

  • 建立稳定制程标准

  • 产线机台之清洁维持稳定的制程标准,确保此制程不会成为客户highlight的一环。


    半导体全产业应用

    晶圆制造  封装测试


    产品优势

  • 一机多点位切换

  • 自动化微奈米子实时监控

  • 比对良率&污染物关系

  • 弹性检测排程自动预警

  • 产品应用
  • 水洗制程(DIWATER)

  • 蚀刻制程(金属蚀刻液)

  • 脱膜制程(剥膜液、脱膜剂)

  • 微影制程(铜酸、铝酸)


  • 产品规格

    量测范围

    0.1μm-100μm

    可容许误差范围

    1200-40000counts/ml@5%CoincidenceError

    校正

    追溯至JIS-B9925

    通讯模式

    RS485/Modbus,4~20mA

    外箱/管路/取样界面

    不锈钢/PFA/石英

    LED灯指示

    电源/故障/正常取样/异常警告

    取样温度/压力

    0-70°C/150PSI

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